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由于钛阳极在使用过程中,阳极反应会产生氧气,因此氧气的产生会形成阴阳极之间的屏蔽效应,并对放电均匀性造成一定的影响。氧气更多是影响于垂直电镀线上,这主要是由于产生的氧气气泡会上浮,导致阳极上部和下部累积的氧气气泡量形成了一定的梯度,从而造成屏蔽效果,也呈现了一定的梯度效应。
要平衡氧气气泡的屏蔽作用对电镀均匀性的影响,一方面可以改变阳极的设计方式,采用水平式电镀的方式,这样就可以从根本上避免气泡上浮造成的阳极各部分屏蔽作用的差异(水平式电镀的设备结构会比垂直式更为复杂,同时也并不是所有产品都适应水平式的电镀方式);另一方面,在垂直电镀线上,可以通过改变阳极导电性设计,以及安装阳极屏蔽板等多种方式来对冲其影响,从而改善由氧气气泡带来的负面影响。
总而言之,气泡的屏蔽效应是设备设计中一个不能忽视的因素,尤其是对于垂直电镀线,设备厂商可以针对这个影响因素做出相应的考虑,特别是如果今后对于电镀均匀性提出更高要求,任何影响电镀均匀性的因素应当都需要纳入考虑范围。